포토리소[photolithography] - 가공방법 및 적용분야에 대하여
페이지 정보
작성일 23-02-07 08:16
본문
Download : 포토리소[photolithograph.pptx
그건 밀착 노광 방식이라 하는데, 그것도 안 씁니다.
그걸 마스크라고 하는데, 여기에 빛을 쏘면 생기는 그림자를 웨이퍼에 복사하는 기술입니다.
포토리소[photolithography] - 가공방법 및 적용분야에 대하여
왼쪽 그림은 근접 노광, 오른쪽 그림은 투영 노광 방식이라고 하는데,
마스크 수명이 짧아지고 해상도도 떨어져서 요즘은 안 씁니다.
옛날에는 인쇄기술로 썼는데, 지금은 반도체 노광공정 기술을 말합니다.
포토리소의 개요부터 스타트해서 마지막으로 적용분야까지 설명(explanation)을 하겠습니다.
다.
먼저, 개요를 說明(설명) 하겠습니다.
말로 說明(설명) 하면 어려운데, 이 그림을 보면 쉽습니다.
포토리소,photolithography, 포토리소가공방법
이 포토리소는 반도체의 제조 공정에서 가장 중요한 공정입니다.
그냥 요즘은 쓰는 방식은 여기 이거 (오른쪽 그림지목) 투영 노광 방식이다, 하는 것만 알아두면 됩니다.
안녕하세요, 저희는 포토리소에 대하여 발표하겠는데요,
딱 봐도 오른쪽 그림이 더 좋아 보입니다.
Download : 포토리소[photolithograph.pptx( 95 )
설명
순서
레포트 > 공학,기술계열
또, 그림에는 안 나와있지만 (왼쪽그림을 가리키며) 여기 이 그림에서 이 갭 부분 없이 딱 달라붙어 있는 것도 있는데
근접 노광에서는 마스크와 웨이퍼 사이에서 가스 발생이나 감광제가 묻거나 하는 현상이 생겨서,
안녕하세요, 저희는 포토리소에 대해서 발표하겠는데요, 포토리소의 개요부터 시작해서 마지막으로 적용분야까지 설명을 하겠습니다.
그리고 이건 별로 중요한 건 아니지만, 포토리소는 광학계에 따른 두 가지 방식이 있다는 說明(설명) 입니다.
참고로 Lithography는 라틴어로 돌이라는뜻의 lithos, 또 그림 graphy의 합성어입니다. 옛날에 쓰던 겁니다.
(그림說明(설명) )
회로를 설계 하고 나서 그 걸 유리판 위에 금속패턴으로 만듭니다. 포토리소는 포토리소그래피의 줄임말인데,
이 포토리소를 통해서 반도체 미세화가 가능해진겁니다. (왼쪽그림지목)이거랑 똑같은 겁니다.
